檢漏儀使用中注意事項
檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點:
①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內,電壓過低儀器啟動困難,且性能不穩定,電壓過高會燒壞電源,嚴重時還會燒毀母板的電路板和分子泵,應連接穩壓電源(UPS)。
②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉中,若搬動檢漏儀,電力中高壓電力環網柜真空箱檢漏系統,容易使分子泵內的葉片與轉子的筒體相碰撞。
③檢漏儀應按照說明書的要求定期進行保養,保養的項目有更換機械泵油、更換過濾網、更換過濾器。
本文介紹了5 種檢漏儀常見故障的分析與處理方法,其中儀器內部存在泄漏環節是一個易被忽視卻又易產生故障的環節,當檢漏部位的復檢結果不一致時,就需檢測儀器內部是否有漏。檢漏儀內部結構緊湊,定位難度大,本文采用切斷分子泵風扇電源和使用小流量噴的方式,提高了密封部位定位的能力。檢漏儀是檢漏工作的部件,在使用過程中應嚴格按照說明書的操作要求進行使用。文中以上出現的故障、現象的處理方式是本單位在多年使用過程中的一個總結和歸納。對檢漏工作者具有一定的參考價值。
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氦質譜檢漏儀的校準方法
(1) 漏率校準① 校準系統的組成
校準系統由標準漏孔、截止閥及需校準的氦質譜檢漏儀組成。
②示值誤差
通電預熱,待氦質譜檢漏儀啟動完成后,采用標準漏孔對氦質譜檢漏儀進行校準,將一經過校準的標準漏孔接入氦質譜檢漏儀系統,運行氦質譜檢漏儀,待漏率示值穩定后,可以讀出標準漏孔漏率的氦質譜檢漏儀示值,同一標準漏孔測量三次,計算氦質譜檢漏儀示值平均值,從而得到標準漏孔漏率與氦質譜檢漏儀示值平均值的示值誤差。結束后,將其他量級的標準漏孔依次按此方法接入氦質譜檢漏儀系統進行測試,得到氦質譜檢漏儀在每一量級下漏率的示值誤差。
如果測試結果有較大編差,可以考慮氦質譜檢漏儀的自校功能,待完成后,再用標準漏孔進行測試。
③ 重復性
測量重復性是用實驗標準偏差表征的,本校準方法采用極差法來表征重復性。在示值誤差測量中,每一標準漏孔用氦質譜檢漏儀重復測量三次,可用公式(2)計算氦質譜檢漏儀在該漏率下的重復性。
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氦質譜檢漏儀行業應用
質譜儀又稱質譜計。分離和檢測不同同位素的儀器。即根據帶電粒子在電磁場中能夠偏轉的原理,按物質原子、分子或分子碎片的質量差異進行分離和檢測物質組成的一類儀器。質譜儀按應用范圍分為同位素質譜儀、無機質譜儀和有機質譜儀。按分辨本領分為高分辨、中分辨和低分辨質譜儀;按工作原理分為靜態儀器和動態儀器。
氦氣,是一種稀有氣體,英文名為Helium,電力真空箱檢漏系統,元素符號為He,原子序數2。為無色無味的惰性氣體,化學性質不活潑,一般狀態下很難和其它物質發生反應。常溫下,檢漏系統,氦氣是一種極輕的無色、無臭、無味的單原子氣體。是所有氣體中難液化的,是不能在標準大氣壓下固化的物質。液化后溫度降至2.174K時,具有表面張力很小、導熱性很強、黏度極低等特殊性質。利用液態氦可以得到接近零度的低溫
氦質譜檢漏儀(Helium Mass SpectrometerLeakDetector)為氣體工業名詞術語,充氣柜真空箱檢漏系統,用氦氣或者氫氣作示漏氣體,以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。氦氣的本底噪聲低,分子量及粘滯系數小,因而易通過漏孔并易擴散;另外,氦系惰性氣體,不腐蝕設備,故常用氦作示漏氣體。將這種氣體噴到接有氣體分析儀(調整到僅對氦氣反應的工作狀態)的被檢容器上,若容器有漏孔,則分析儀即有所反應,從而可知漏孔所在及漏氣量大小。
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