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北京科儀創新真空技術有限公司
主營：真空箱式氦檢漏設備,LNG低溫容器抽真空設備
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氦質譜檢漏常見問題
氦質譜檢漏儀是現在比較常用的檢測儀器，那么在使用過程中我們又遇到哪些問題呢？今天科儀的小編就和大家來一起總結一下！
一、為什么用氦氣作為示蹤氣體？其他氣體可以嗎？（1）在空氣中含量低(只有5 ppm)，環境本底低
（2）惰性氣體不易1燃，不易1爆對環境沒有污染，不與其他物質反應，可以混合到任意濃度
（3）無毒，可以用在食品工業
（4）在質譜儀譜圖中易于與其他物質區分
（5）比空氣輕，運動速度快
（6）氣體分子很小，可以穿過微小的泄漏孔
（7）其它氣體也可以
二、噴氦檢漏的注意事項。
（1）被測系統應盡量清潔，干燥，無油
（2）如果測量條件發生變化（溫度），需要重新對檢漏儀做內部較準
（3）氦氣比空氣輕，噴氦法檢漏應注意方向
（4）盡量不要使用密封脂（油脂會大量吸附氦氣）
（5）不要向環境釋放大量氦氣
（6）真實的漏率信號應當是快速上升的信號，相對緩慢下降的信號
三、漏率（leak rate）
在已知漏泄處兩側壓差的情況下，單位時間內流過漏泄處的給定溫度的干燥氣體量。
注：采用國際單位制時，漏率單位為：Pa?m3/s。
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氦質譜檢漏法
氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理，實現被檢件的氦泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進入氦質譜檢漏儀后，由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。
根據檢漏過程中的示漏氣體存貯位置與被檢件的關系不同，可以將氦質譜檢漏法分為真空法、正壓法、真空壓力法和背壓法，下面分別總結了這四種氦質譜檢漏法的檢測原理、優缺點及檢測的標準。
氦質譜檢漏儀的注意事項
檢漏儀的響應時間會影響檢漏工作的速度，正常運行的儀器響應時間不大于3s。筆者實測時，在漏點處噴射氦氣5～10s后，充氣柜真空箱檢漏設備，檢漏儀就發生響應，對于如此龐大的真空系統，其反應是相當的靈敏。
檢漏時噴在漏孔處停留的時間應為儀器響應時間的3倍，該時間再加上氦氣在真空系統中的傳遞時間，即為兩次噴氦的較小間隔時間，當然真空系統越龐大，該間隔時間也越長。筆者根據實測經驗，兩次噴氦的較小間隔時間控制在30s左右，即如果次噴氦后30s內檢漏儀還沒有反應，則可進行第二次噴氦。
清除時間在理論上與響應時間相同，但由于儀器零件對氦的吸附和脫附作用的影響，清除時間一般要更長些。筆者測算，在測試到數量級為10-9P a ?m3/s的微漏漏點時，清除時間約須1分鐘；在測試到數量級為10-8P a ? m3/s的中漏漏點時，清除時間約須2分鐘；在測試到數量級為10-7Pa?m3/s的大漏漏點時，清除時間在3分鐘左右。
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第11年
