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真空泵的工作原理原理是利用偏心轉(zhuǎn)子在泵腔內(nèi)形成通過(guò)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生體積的變化而將氣體排出泵外，主要是在吸氣過(guò)程中，吸氣腔體積增大，真空度降低，將容器內(nèi)氣體吸入泵腔，在排氣過(guò)程中體積變小，島津二手泵TMP280-L-SER出售，壓強(qiáng)增大，zui終通過(guò)油封將吸入的氣體排出泵外。

旋片式真空泵( Sliding Vane Rotary Vacuum Pump )具有結(jié)構(gòu)緊湊，島津磁懸浮渦輪泵維修與保養(yǎng)，體積小，重量輕，噪音低，振動(dòng)小等優(yōu)點(diǎn)。所以，它適用于作擴(kuò)散泵的前級(jí)泵，而且更適用于精密儀器配套和實(shí)驗(yàn)室使用。例如：質(zhì)譜儀器，冰箱流水線，真空冷凍干燥機(jī)等。

羅茨真空泵( Roots Vacuum Pump )是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡茫氂星凹?jí)泵配合方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)，有較大的抽速，對(duì)被抽除氣體中含有灰塵和水蒸汽不敏感。廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。主要用于真空機(jī)組的主泵，需要用前級(jí)泵輔助。如：水環(huán)式真空泵，滑閥真空泵，立式無(wú)油真空泵，分子真空泵等。國(guó)內(nèi)zui大羅茨真空泵保持紀(jì)錄為20000L/S。

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廣州潽拓光電科技有限公司——島津二手泵TMP280-L-SER出售磁懸浮高真空分子泵維修

擴(kuò)散泵的缺點(diǎn)是返油問(wèn)題，加上擋油帽和冷阱及正確操作，其返油率可降到1×10-5mg/cm2min的地步。

油擴(kuò)散泵致命的缺點(diǎn)就是泵油返流污染被抽系統(tǒng)。經(jīng)過(guò)大量的研究，現(xiàn)代擴(kuò)散泵由于增加了擋油帽、障板和冷阱等措施，使擴(kuò)散泵的返油率降得很低。所有的油擴(kuò)散泵都存在一定程度的返流現(xiàn)象。返流的氣體是少量殘余的碳?xì)浠衔铩７盗饔袃蓚€(gè)不同性質(zhì)的來(lái)源：泵油分子朝向擴(kuò)散泵頂噴咀的上方運(yùn)動(dòng)構(gòu)成泵的主要的返流。其次要的返流是被泵壁冷凝的泵油的遷移或再蒸發(fā)。利用好的鍋爐和噴咀設(shè)計(jì)，可使主要的返流降至低。在頂噴咀上方設(shè)置水冷擋油帽，它已成為頂噴咀的攔截返油的水冷裝置，由于不斷對(duì)冷帽結(jié)構(gòu)的改進(jìn)，使主要返流大大降低。

影響油擴(kuò)散泵性能的因素如下。

1、油擴(kuò)散泵的返流。磁懸浮高真空分子泵維修

2、氣體分子的反擴(kuò)散。

3、擴(kuò)散泵油的裂化分解，一般擴(kuò)散泵對(duì)其工作油的要求是飽和蒸氣壓以內(nèi)(室溫下0.00000001Pa左右)，受熱穩(wěn)定性好，不易被氧化，分子量大的高沸點(diǎn)的液體，如硅油是擴(kuò)散泵中比較理想的工作油。

4、泵清洗不干凈，污染物質(zhì)留在泵內(nèi)并重復(fù)循環(huán)，影響其真空度。

被抽氣體種類、成分、雜質(zhì)情況及系統(tǒng)工作時(shí)對(duì)污染的限制要求

被抽氣體性質(zhì)及對(duì)污染的要求是選擇不同特性真空泵的一個(gè)重要條件。它不但與工作時(shí)泵的性能有關(guān)，而且直接與泵的工作壽命及檢修維護(hù)情況有關(guān)，特別是在化工生產(chǎn)中，它往往是正確選泵的一個(gè)關(guān)鍵因素。

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真空泵油有問(wèn)題

(1)油位過(guò)低。解決方案：加足油量到油標(biāo)中心線。

(3)油被沾污，油質(zhì)變壞。解決方案：應(yīng)更換新油。

(3)油的牌號(hào)不符。解決方案：換規(guī)定牌號(hào)的真空泵油。

(4)油路不通，真空泵腔內(nèi)沒(méi)有保持適當(dāng)?shù)挠土俊＝鉀Q方案：檢查油路及油閥的進(jìn)油量，保持油路暢通。

真空泵按性能特點(diǎn)和用途分類

（1）低真空泵

泵的極限壓力高于102Pa的真空泵屬于低真空泵。常見(jiàn)的低真空泵有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、液環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

（2）中真空泵

極限壓力在102~-10-1Pa的真空泵屬于中真空泵。常見(jiàn)的有羅茨真空泵、多級(jí)噴射式真空泵、多級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵以及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵等。

（3）高真空泵

極限壓力在10-1~10-5Pa的真空泵屬于高真空泵。常見(jiàn)的高真空泵有各種擴(kuò)散泵及分子泵等。

（4）超高真空泵

極限壓力低于10-5Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有各種離子泵、低溫泵等。