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由單質氟與硫直接化合而得。反應也會生成硫的其他氟化物如十氟化二硫，可通過加熱使其歧化后，再用氫i氧化鈉處理除去剩余的四氟i化硫而純化。
六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優異的滅弧性能。其耐電強度為同一壓力下氮氣的2.5倍，擊穿電壓是空氣的2.5倍，滅弧能力是空氣的100倍，是一種優于空氣和油之間的新一代超高壓絕緣介質材料。六氟化硫以其良好的絕緣性能和滅弧性能，如:斷路器、高壓變壓器、氣封閉組合電容器、高壓傳輸線、互感器等。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，被大量應用于微電子技術領域。冷凍工業作為制冷劑，制冷范圍可在-45℃~0℃之間。電氣工業利用其很高介電強度和良好的滅電弧性能，用作高壓開關、大容量變壓器、高壓電纜和氣體的絕緣材料。
六氟化硫氣體之所以有比較好的絕緣性能，是因為六氟化硫氣體具有負電性，就是說六氟化硫分子能夠吸附氣體中的自由電子，六氟化硫作用，而變成負離子，這種負離子的質量遠遠大于自由電子的質量，杭州六氟化硫，因此運動速度大大降低，此外，間隙中自由電子的數量減少了，就難以形成擊穿通道。所以其絕緣性能比較好。另外，這種負電性在高溫下，六氟化硫密度，也就是在滅弧時也是十分有利的。
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