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沈陽(yáng)東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
主營(yíng)：貴金屬材料
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由表面層和基層組成的半導(dǎo)電輥；該表面層具有較高的電阻值，由橡膠組合物制成；基層具有較低的電阻值，由導(dǎo)電橡膠組合物組成。該半導(dǎo)電輥的目的在于通過(guò)良好地平衡表面層和基層的電阻值而獲得良好的靜電充電特性。有必要使這兩種層的厚度高度準(zhǔn)確。為使兩種層的厚度高度準(zhǔn)確，需要較麻煩的管理，香檳金靶材制造，并且生產(chǎn)橡膠輥的成本較高。
而未米的0.18um}藝甚至0.13m工藝，所需要的靶材純度將要求達(dá)到5甚至6N以上。銅與鋁相比較，錦州香檳金靶材，銅具有更高的抗電遷移能力及更低的電阻率，香檳金靶材誰(shuí)家好，能夠滿(mǎn)足！導(dǎo)體工藝在0.25um以下的亞微米布線(xiàn)的需要但卻帶米了其他的問(wèn)題：銅與有機(jī)介質(zhì)材料的附著強(qiáng)度低．并且容易發(fā)生反應(yīng)，導(dǎo)致在使用過(guò)程中芯片的銅互連線(xiàn)被腐蝕而斷路。
為了解決以上這些問(wèn)題，需要在銅與介質(zhì)層之間設(shè)置阻擋層。阻擋層材料一般采用高熔點(diǎn)、高電阻率的金屬及其化合物，因此要求阻擋層厚度小于50nm，與銅及介質(zhì)材料的附著性能良好。銅互連和鋁互連的阻擋層材料是不同的．需要研制新的靶材材料。銅互連的阻擋層用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等．但是Ta、W都是難熔金屬．制作相對(duì)困難，如今正在研究鉬、鉻等的臺(tái)金作為替代材料。
超純金屬的制備有化學(xué)提純法如精餾（特別是金屬氯化物的精餾及氫還原）、升華、溶劑萃取等和物理提純法如區(qū)熔提純等（見(jiàn)硅、鍺、鋁、銦）。其中以區(qū)熔提純或區(qū)熔提純與其他方法相 結(jié)合有效。
由于容器與藥劑中雜質(zhì)的污染，使得到的金屬純度受到一定的限制，只有用化學(xué)方法將金屬提純到一定純度之后，再用物理方法如區(qū)熔提純，才能將金屬純度提到一個(gè)新的高度?？梢杂冒雽?dǎo)體材料鍺及超純金屬鋁為例說(shuō)明典型的超純金屬制備及檢測(cè)的原理（見(jiàn)區(qū)域熔煉）。
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第9年
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