石英撓性加速度計的工作原理如下:
它利用石英材料的彈性特性。在加速度計中,有一個石英擺片,通過撓性支撐結構與基座相連。當有加速度作用時,慣性力會使擺片產生微小的變形。擺片上鍍有金屬電極,其與固定的電極之間形成電容。加速度的變化會導致擺片變形量的改變,從而引起電容值的變化。通過檢測電容的變化,并經過一系列的信號處理和轉換,就可以測量出加速度的大小和方向。這種加速度計具有高精度、高穩定性等特點。
石英撓性加速度計操作指南一、操作前準備1.檢查設備完整性,確認傳感器本體、電纜及配套二次儀表無物理損傷。2.使用萬用表檢測供電線路阻抗,確保電源電壓與傳感器額定值匹配(常規為±15VDC)。3.準備隔振平臺,環境溫度應穩定在20±2℃,相對濕度≤65%RH。二、安裝與調試1.將傳感器通過夾具固定于被測物體敏感軸方向,三向加速度傳感器,安裝面平面度誤差≤0.01mm。2.采用六角防松螺釘緊固,力矩控制在0.6-0.8N·m范圍內。3.連接屏蔽電纜時確保接插件卡扣到位,線纜彎曲半徑>5倍線徑。三、通電測試1.開啟電源前確認極性正確,先接通傳感器預熱30分鐘。2.使用數字示波器監測輸出信號,空載狀態下噪聲峰峰值應<20mV。3.通過標準重力場進行靜態標定,調整零點電位器使輸出值在±0.5%F.S內。四、注意事項1.禁止超過量程150%的沖擊載荷2.操作時佩戴防靜電腕帶,避免接觸敏感撓性梁結構3.動態測試時需進行溫度補償,補償系數參考技術手冊4.定期用無水乙醇清潔電氣接口,禁用接觸密封部位五、維護保養1.每月執行一次自檢程序,記錄零點漂移量2.存儲環境應保持溫度10-35℃,避免強磁場干擾3.累計工作2000小時后建議返廠進行力矩器校準六、異常處理出現輸出信號異常時:1.立即斷開電源2.檢查供電電壓波動是否<1%3.檢測屏蔽層接地電阻(應<0.1Ω)4.使用振動臺進行頻響特性測試(5-100Hz)注:本操作規范適用于常規量程(±10g至±50g)型號,特殊型號請參照具體技術文件。
石英撓性加速度計主要由表頭組件和電路部分組成。表頭組件包括石英擺片、上下力矩器、檢測電容等;電路部分通常包含前置放大器、解調電路、濾波器、伺服電路等。檢測電容用于檢測擺片的位置變化并轉化為電信號,再經電路部分進行處理和放大,輸出與加速度成正比的電信號。石英撓性加速度計憑借其高精度和可靠性,在慣性傳感領域占據重要地位。未來趨勢包括MEMS集成化、智能補償算法和多功能模塊設計,以滿足更嚴苛的應用需求。
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