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沈陽(yáng)東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
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濺射靶材ITO靶材的生產(chǎn)工藝?ITO靶材的生產(chǎn)工藝可以分為3種：熱等靜壓法(HIP)、濺射靶材熱壓法(HP)和氣氛燒結(jié)法。各種生產(chǎn)工藝及其特點(diǎn)簡(jiǎn)介如下：
熱等靜壓法：ITO靶材的熱等靜壓制作過(guò)程是將粉末或預(yù)先成形的胚體，在800℃～1400℃及1000kgf/cm 2～2000kgf/cm 2的壓力下等方加壓燒結(jié)。熱等靜壓工藝制造產(chǎn)品密度高、物理機(jī)械性能好，但設(shè)備投入高，生產(chǎn)成本高，純銀板材誰(shuí)家好，產(chǎn)品的缺氧率高。
使用電子導(dǎo)電性橡膠時(shí)，由于導(dǎo)電性填充劑添加量的變化都會(huì)引發(fā)電阻劇烈變化，所以存在電阻值很難控制的問(wèn)題。而且，由于橡膠中的導(dǎo)電性填充劑難以均勻分散，蕪湖純銀板材，所以輥筒的圓周方向和寬度方向上的電阻值不均勻。
對(duì)橡膠組合物進(jìn)行硫化處理的方法包括使用加壓裝置和硫化處理槽的間歇式或連續(xù)式硫化法。用間歇式硫化法進(jìn)行硫化處理制造輥筒時(shí)，由于端部和中央部分會(huì)產(chǎn)生壓力和熱傳遞差，所以電阻值不均勻。
鎢-鈦（W-Ti）膜以及以鎢-鈦（W-Ti）為基的合金膜是高溫合金膜，具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點(diǎn)、高強(qiáng)度和低的熱膨脹系數(shù)等性能，純銀板材廠(chǎng)家，W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線(xiàn)，例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究。但是布線(xiàn)金屬本身易 氧化、易與周?chē)沫h(huán)境發(fā)生反應(yīng)，純銀板材回收，與介質(zhì)層的粘結(jié)性差，易擴(kuò)散進(jìn)入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中，并且在較低的溫度下會(huì)形成金屬與Si 的化合物， 充當(dāng)了雜質(zhì)的角色，使器件的性能大幅度下降。
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第9年
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