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主營(yíng)：氦檢漏系統(tǒng),非標(biāo)定制氦檢漏回收系統(tǒng)
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氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)產(chǎn)品中是否存在微小泄漏的設(shè)備。其工作原理主要是基于氣體超聲波流量計(jì)的工作模式，通過向被測(cè)介質(zhì)施加高頻聲信號(hào)并記錄回響來測(cè)量介質(zhì)的流動(dòng)情況。當(dāng)有泄露發(fā)生時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生相應(yīng)的壓力波動(dòng)，這些變化會(huì)經(jīng)過一些復(fù)雜的處理過程轉(zhuǎn)化為電信號(hào)輸出來實(shí)現(xiàn)終的診斷結(jié)果分析。具體來說，該系統(tǒng)的組成部分包括傳感器、前置器與顯示器等幾個(gè)部分：首先，傳感器負(fù)責(zé)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氣體的壓強(qiáng)和流速；其次，需要將實(shí)時(shí)的數(shù)據(jù)信息進(jìn)行轉(zhuǎn)換放大后輸送給后續(xù)的前置器進(jìn)行處理;由顯示屏對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)和分析得出具體的判斷結(jié)論。整個(gè)過程的操作都是自動(dòng)完成的，不需要人工干預(yù)和處理.簡(jiǎn)而言之就是利用頻率響應(yīng)的方式識(shí)別出因受載而產(chǎn)生的體積漲落的特征光譜及其位置移動(dòng)現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)對(duì)于整體容器的狀態(tài)評(píng)估。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測(cè)設(shè)備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機(jī)、進(jìn)氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測(cè)器等部分組成。該系統(tǒng)的功能是利用高速流動(dòng)的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測(cè)區(qū)域與外部環(huán)境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會(huì)從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，從而產(chǎn)生聲學(xué)信號(hào)或者叫作粒子束，通過測(cè)量這個(gè)聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術(shù)對(duì)各種材料均不敏感而且對(duì)于很小的體積也可以進(jìn)行準(zhǔn)確的測(cè)定，因此廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中硅片芯片封裝環(huán)境的監(jiān)測(cè)以防止晶圓損傷；也應(yīng)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線上檢查每個(gè)密封件是否有缺陷。
真空箱氦檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測(cè)產(chǎn)品泄漏率的設(shè)備。其工作原理主要包括以下幾個(gè)步驟：1.首先，將待測(cè)物品放入真空氣密腔內(nèi)，真空箱氦檢設(shè)備，氣密腔由被抽空的內(nèi)室和連接的管道組成；其中，在內(nèi)室的頂部裝有頂針機(jī)構(gòu)，當(dāng)需要放氣時(shí)可通過控制電路打開頂針使氣體進(jìn)入大氣中排放到室外或通過冷凝回收裝置進(jìn)行收集處理。在進(jìn)氣管上還設(shè)有壓力表、電磁閥與充注等附件供操作人員在試驗(yàn)前對(duì)氣壓進(jìn)行檢查和控制以及向氣路系統(tǒng)中充入惰性保護(hù)氣體。2.然后啟動(dòng)增壓泵開始抽出測(cè)試倉的壓力至0.5-0.6KPa(5-6mbar)左右，關(guān)閉增壓泵電源并接通試件控制系統(tǒng)電源，并將探頭安裝在密封容器的法蘭盤處。3.利用示差法判別泄露部位及大致位置尺寸;根據(jù)讀數(shù)可以判斷出泄漏率的大小。
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