廣州潽拓光電科技有限公司——pfeiffer真空泵復(fù)合分子真空泵

泵不啟動(dòng)

  原因有：1、電源故障、可參照電源說(shuō)明書

          2、連接電纜不通，用電表查連接電纜，并檢查和使插座接觸良好。

九、長(zhǎng)時(shí)間啟動(dòng)仍達(dá)不到額定轉(zhuǎn)速或停轉(zhuǎn)

原因：1、系統(tǒng)有漏2、前級(jí)壓強(qiáng)過(guò)高3、轉(zhuǎn)向有誤4、潤(rùn)滑油失效5、軸承損壞

正確的使用氣鎮(zhèn)

有些工藝本身就會(huì)產(chǎn)生大量的水蒸氣，比如真空干燥，真空冷凍干燥等，而真空腔體的內(nèi)壁也會(huì)吸附水分（特別是在潮濕的季節(jié)），這些水分在真空下會(huì)汽化形成大量的水蒸氣。水蒸氣在真空泵內(nèi)被壓縮后，將會(huì)凝結(jié)成液態(tài)水并積存在泵內(nèi)，造成泵油乳化、軸封漏油、內(nèi)部生銹、噪音增大、極限真空變差等問(wèn)題。避免水蒸氣冷凝需要用到氣鎮(zhèn)。氣鎮(zhèn)起到向真空泵內(nèi)摻氣的作用，當(dāng)氣鎮(zhèn)口打開(kāi)時(shí)，吸入外部干燥氣體以稀釋泵內(nèi)水蒸氣，從而避免水蒸氣凝結(jié)。對(duì)于水汽含量較大的應(yīng)用，建議一直打開(kāi)氣鎮(zhèn)；對(duì)于要求極限真空或者水汽含量較小的應(yīng)用，可以在需要排水時(shí)讓泵帶氣鎮(zhèn)持續(xù)運(yùn)行約1個(gè)小時(shí)，然后重新將氣鎮(zhèn)口關(guān)閉

在復(fù)合分子真空泵的設(shè)計(jì)中，必須處理好渦輪級(jí)與牽引級(jí)之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級(jí)有較大的抽氣面積，抽速很大，pfeiffer真空泵無(wú)法啟動(dòng)，而牽引級(jí)溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無(wú)序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)在渦輪級(jí)和牽引級(jí)轉(zhuǎn)換處加上過(guò)渡級(jí)結(jié)構(gòu)，以提高泵的抽氣性能。

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單級(jí)雙吸泵真空泵和普通的水泵作用一樣，其特點(diǎn)是把旋轉(zhuǎn)水環(huán)當(dāng)做活塞來(lái)改變泵腔的容積，以達(dá)到吸氣、壓縮和排氣的目的。它的零部件包括轉(zhuǎn)子葉輪、泵殼、端板、閥片、軸承、進(jìn)排氣口、進(jìn)口單向閥、軸端密封等。通常情況下，軸端是密封的，是利用帶水封環(huán)的填料進(jìn)行密封處理的，其中密封水是通過(guò)端板上的孔道導(dǎo)入導(dǎo)水封環(huán)位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P渦輪分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析設(shè)備及氦檢儀中分析儀器如氦質(zhì)譜檢漏儀，及小型分子泵組中。德國(guó)普發(fā)PFEIFFER TMH071 P分子泵進(jìn)氣法蘭口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，陽(yáng)江pfeiffer真空泵，出氣法蘭口DN16ISO-KF，抽速可達(dá)到60L/s， 轉(zhuǎn)速為90000rpm，極限真空＜1*10E8mBAR; 對(duì)應(yīng)的控制器為PFEIFFER TC600.

當(dāng)今，現(xiàn)代化的半導(dǎo)體行業(yè)中，越來(lái)越多地應(yīng)用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發(fā)、注入、分子束外延、離子加工等設(shè)備都需要在真空環(huán)境下運(yùn)行。又如電子顯微鏡，pfeiffer真空泵返油處理，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質(zhì)譜檢漏儀等也經(jīng)常使用渦輪分子泵來(lái)抽真空。此外，在宇宙模擬設(shè)備、核聚變裝置、太陽(yáng)能集熱管鍍膜生產(chǎn)線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來(lái)代替油擴(kuò)散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十幾年來(lái)，渦輪分子泵，pfeiffer真空泵過(guò)熱，在國(guó)內(nèi)、外都得到了顯著的改進(jìn)和發(fā)展。在渦輪分子泵的應(yīng)用日益增加干式的前級(jí)泵還沒(méi)有大量普及和應(yīng)用的情況下，有時(shí)還不得不用油封機(jī)械泵來(lái)作渦輪分子泵的前級(jí)泵。因此，針對(duì)這種現(xiàn)狀，對(duì)渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

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廣州潽拓光電科技有限公司——pfeiffer真空泵普發(fā)分子泵組

真空泵的共同特性

挑選真空泵需求考慮型號(hào)，原料，驅(qū)動(dòng)方式，用處，類型，功能，泵軸位置，真空度等多方面因素，比如原料有鑄鐵，鑄鋁，鑄鋼，鋁合金，不銹鋼等；類型有氣體捕集泵，氣體傳輸泵，真空泵等；用處有真空泵，增壓泵，化工泵，抽真空等。

PFEIFFER Hipace系列分子泵適用領(lǐng)域：

1.真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）

2.泄漏檢測(cè)（真空系統(tǒng)、機(jī)車燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）

3.科研設(shè)施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等）

4.光學(xué)/玻璃行業(yè)（隔熱保護(hù)、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）

5.真空鍍膜技術(shù)（表面保護(hù)、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）

渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 1500 對(duì)各種氣體均有高抽吸能力， 高工藝適用性， 防止進(jìn)入顆粒. 集成驅(qū)動(dòng)電路， 適用于工業(yè)環(huán)境， 通過(guò)保護(hù)等級(jí) IP54. 帶有氣體密封閥 24 V DC 的集成型氣體密封系統(tǒng). 渦輪分子泵 HiPace 1500 搭配控制器 TC 1200， 通訊接口 RS-485， 遠(yuǎn)程遙控（Profibus/DeviceNet 型號(hào)供選擇）， 多種配件供客戶選擇.

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