廣州潽拓光電科技有限公司——pfeiffer真空泵復合分子真空泵

泵不啟動

  原因有：1、電源故障、可參照電源說明書

          2、連接電纜不通，用電表查連接電纜，并檢查和使插座接觸良好。

九、長時間啟動仍達不到額定轉速或停轉

原因：1、系統有漏2、前級壓強過高3、轉向有誤4、潤滑油失效5、軸承損壞

正確的使用氣鎮

有些工藝本身就會產生大量的水蒸氣，比如真空干燥，真空冷凍干燥等，而真空腔體的內壁也會吸附水分（特別是在潮濕的季節），這些水分在真空下會汽化形成大量的水蒸氣。水蒸氣在真空泵內被壓縮后，將會凝結成液態水并積存在泵內，造成泵油乳化、軸封漏油、內部生銹、噪音增大、極限真空變差等問題。避免水蒸氣冷凝需要用到氣鎮。氣鎮起到向真空泵內摻氣的作用，當氣鎮口打開時，吸入外部干燥氣體以稀釋泵內水蒸氣，從而避免水蒸氣凝結。對于水汽含量較大的應用，建議一直打開氣鎮；對于要求極限真空或者水汽含量較小的應用，可以在需要排水時讓泵帶氣鎮持續運行約1個小時，然后重新將氣鎮口關閉

在復合分子真空泵的設計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應配和銜接關系。由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，pfeiffer真空泵無法啟動，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結構的聯接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉變，使氣體分子的運動在聯接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設計時應在渦輪級和牽引級轉換處加上過渡級結構，以提高泵的抽氣性能。

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單級雙吸泵真空泵和普通的水泵作用一樣，其特點是把旋轉水環當做活塞來改變泵腔的容積，以達到吸氣、壓縮和排氣的目的。它的零部件包括轉子葉輪、泵殼、端板、閥片、軸承、進排氣口、進口單向閥、軸端密封等。通常情況下，軸端是密封的，是利用帶水封環的填料進行密封處理的，其中密封水是通過端板上的孔道導入導水封環位置的。哪里有修真空泵的

PFEIFFER TMH071 P渦輪分子泵大量用于PFEIFFER、Agilent（VARIAN）、 Ulvac、INFICON、VST、ABI、SHIMADZU等分析設備及氦檢儀中分析儀器如氦質譜檢漏儀，及小型分子泵組中。德國普發PFEIFFER TMH071 P分子泵進氣法蘭口DN63 ISO-KF/DN63 CF-F，陽江pfeiffer真空泵，出氣法蘭口DN16ISO-KF，抽速可達到60L/s， 轉速為90000rpm，極限真空＜1*10E8mBAR; 對應的控制器為PFEIFFER TC600.

當今，現代化的半導體行業中，越來越多地應用渦輪分子泵。如濺射、刻蝕、蒸發、注入、分子束外延、離子加工等設備都需要在真空環境下運行。又如電子顯微鏡，pfeiffer真空泵返油處理，表面分析儀器，殘余氣體分析儀及氦質譜檢漏儀等也經常使用渦輪分子泵來抽真空。此外，在宇宙模擬設備、核聚變裝置、太陽能集熱管鍍膜生產線上也都改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統，以防止油蒸汽的污染。因此，z近十幾年來，渦輪分子泵，pfeiffer真空泵過熱，在國內、外都得到了顯著的改進和發展。在渦輪分子泵的應用日益增加干式的前級泵還沒有大量普及和應用的情況下，有時還不得不用油封機械泵來作渦輪分子泵的前級泵。因此，針對這種現狀，對渦輪分子泵的合理選用和正確操作是很重要的。

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真空泵的共同特性

挑選真空泵需求考慮型號，原料，驅動方式，用處，類型，功能，泵軸位置，真空度等多方面因素，比如原料有鑄鐵，鑄鋁，鑄鋼，鋁合金，不銹鋼等；類型有氣體捕集泵，氣體傳輸泵，真空泵等；用處有真空泵，增壓泵，化工泵，抽真空等。

PFEIFFER Hipace系列分子泵適用領域：

1.真空冶金（真空焊接、真空燒結、真空合金、真空爐等）

2.泄漏檢測（真空系統、機車燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業）

3.科研設施（核粒子物理學、核聚變研究、激光應用等）

4.光學/玻璃行業（隔熱保護、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）

5.真空鍍膜技術（表面保護、裝飾土層、顯示技術、屏幕等）

渦輪分子泵 Pfeiffer HiPace 1500 對各種氣體均有高抽吸能力， 高工藝適用性， 防止進入顆粒. 集成驅動電路， 適用于工業環境， 通過保護等級 IP54. 帶有氣體密封閥 24 V DC 的集成型氣體密封系統. 渦輪分子泵 HiPace 1500 搭配控制器 TC 1200， 通訊接口 RS-485， 遠程遙控（Profibus/DeviceNet 型號供選擇）， 多種配件供客戶選擇.

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