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主營：氦檢漏系統(tǒng),非標(biāo)定制氦檢漏回收系統(tǒng)
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氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，主要用于真空系統(tǒng)中微小滲漏的查找和定位。它主要由主機(jī)、進(jìn)氣管道組件、離子源、收集極、高壓電源、探測器等部分組成。該系統(tǒng)的功能是利用高速流動(dòng)的高純度惰性氣體（通常是氮或）流將待測區(qū)域與外部環(huán)境隔離，如果存在泄的話，那么在壓力梯變的影響下空氣中的分子會(huì)從有縫隙的地方跑出去形成氣泡，從而產(chǎn)生聲學(xué)信號(hào)或者叫作粒子束，通過測量這個(gè)聲音可以確定具體的漏洞位置以及大小等信息。這種技術(shù)對(duì)各種材料均不敏感而且對(duì)于很小的體積也可以進(jìn)行準(zhǔn)確的測定，pfeiffer氦質(zhì)譜檢漏儀，因此廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中硅片芯片封裝環(huán)境的監(jiān)測以防止晶圓損傷；也應(yīng)用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線上檢查每個(gè)密封件是否有缺陷。
檢漏系統(tǒng)是一種用于檢測泄漏的安全系統(tǒng)。它通過檢測環(huán)境中的泄漏來防止意外事故的發(fā)生。它通常使用傳感器來檢測泄漏，例如氣體、液體或蒸汽。檢漏系統(tǒng)包括一個(gè)檢測器、一個(gè)報(bào)警器和一個(gè)控制器。檢測器會(huì)檢測到泄漏，并將泄漏的信息發(fā)送給報(bào)警器。報(bào)警器會(huì)發(fā)出警報(bào)，通知相關(guān)人員采取措施。，控制器會(huì)控制機(jī)械設(shè)備來關(guān)閉泄漏源。
氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)是一種高靈敏度的氣體檢測儀器，它利用了帶電粒子在磁場中偏轉(zhuǎn)的原理來識(shí)別不同原子量的氣體。其工作過程如下：首先將待測容器充入惰性氣體（主要是氮?dú)猓缓髮⒐苈方油ㄕ婵毡眠M(jìn)行抽空處理；接著打開進(jìn)樣閥使被探測的氣體進(jìn)入靜電引弧極間形成輝光放電而被離子化、激發(fā)而產(chǎn)生正負(fù)電子流；之后由穩(wěn)壓電源供給高壓于陰板和陽板上分別收集這些自由電子并維持兩板的導(dǎo)電回路閉合電路；通過測量出電流強(qiáng)度即可確定泄漏率的大小或樣品中的質(zhì)量分?jǐn)?shù)含量。
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