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沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
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在所有應(yīng)用產(chǎn)業(yè)中，半導體產(chǎn)業(yè)對靶材濺射薄膜的品質(zhì)要求是苛刻的。如今12英寸（300衄口）的硅晶片已制造出來．而互連線的寬度卻在減小。硅片制造商對靶材的要求是大尺寸、高純度、低偏析和細晶粒，遼陽純鈀靶材，這就要求所制造的靶材具有更好的微觀結(jié)構(gòu)。靶材的結(jié)晶粒子直徑和均勻性已被認為是影響薄膜沉積率的關(guān)鍵因素。另外，薄膜的純度與靶材的純度關(guān)系極大，過99.995%（4N5）純度的銅靶，純鈀靶材哪家好，或許能夠滿足半導體廠商0.35pm工藝的需求，但是卻無法滿足如今0.25um的工藝要求。
金屬靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標材料。有金屬類、合金類、氧化物類等等。
簡單說的話，例如：蒸發(fā)磁控濺射鍍膜是加熱蒸發(fā)鍍膜......鋁膜等。更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。
應(yīng)用于顯示屏的阻擋層或調(diào)色層，筆記本電腦的裝飾層、電池的封裝等.
鎢-鈦靶材作為光伏電池鍍膜材料是近發(fā)展起來的，它作為第三代太陽能電池的阻擋層是佳選擇。
由于 W-Ti 系列薄膜具有非常優(yōu)良的性能，純鈀靶材回收，近幾年來應(yīng)用量急劇增加，2008年W-Ti 靶材世界用量已達到400t，隨著光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，這種靶材的需求量會越來越大。具行業(yè)預測其用量還會有很大的增加。國際太陽能電池市場以的速度增長，目前世界有30 多公司參與太陽能市場的進一步開發(fā)， 并已有的公司產(chǎn)品投入市場。
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第9年
